HHG独立技术使国产EUV光源取得突破并已通航

10月23日下午成功举办的“新驰神湾·创未来”推介会-2025中科大硅谷（上海），合肥昊宇新科科技有限公司产品负责人郑扬子博士受邀发表主题演讲。本次活动由成为资本项目的科大硅谷服务平台（安徽）有限公司主办，安徽汽车创新中心、上海合成生物创新中心协办。本文内容是根据网站上的讲座编写的。郑扬子：尊敬的各位领导、专家、同事们大家好！谢谢你邀请我来首都。此外，我很荣幸代表合肥昊宇芯光科技有限公司向大家介绍我们在极紫外（EUV）光源和高次谐波发生（HHG）技术领域的探索和进展。今天的部分分为几个部分：我们是谁、我们做什么、我们的根源我们的核心技术、我们的应用结果以及我们对未来的看法。通过这次交流，希望大家能够更加了解“国产极紫外光源”这个看似专业，但却是日本制造核心的东西。 合肥浩宇芯光成立于2023年，虽然我们很年轻，但我们是一家拥有深厚专业经验的高科技公司。我们专注于前沿激光应用技术和核心半导体测量技术的发展。公司总部位于合肥，并在上海、深圳、昆明、北京、成都、香港设有分支机构。我们的团队来自极紫外激光、阿秒物理、半导体计量等前沿领域。我们的核心成员包括来自日本和国外的外籍员工，以及活跃于国际行业多年的工程专家。昊宇芯光的愿景是成为全球领先的先进激光应用技术公司。我们的使命是专注先进激光应用技术，推动行业进步和创新。我们的价值观是人、工人和企业家、开放和创新。目前，我们的技术能力涵盖软X射线（SXR）到极紫外（EUV）和真空紫外。它覆盖了直至 VUV 的整个光谱范围。我们的产品和解决方案广泛应用于超快光谱、阿秒科学、先进光刻、材料科学、量子技术、生物医学和高分辨率成像等领域。在更直接的层面上，这些技术有力地支持了半驱动器的制造、芯片研发和纳米器件测试。技术核心：HHG：极紫外激光光源 在众多的光源和激光光源技术路线中，谐波产生（HHG）是昊宇芯光的核心。我们都知道主要有两个技术传统 EUV 光源的逻辑路线。一种是激光等离子体（LPP），另一种是放电等离子体（DPP）。这两条路线虽然性能较高，但系统复杂，污染控制难度大，成本高。相比之下，HHG 技术采取了完全不同的方法。飞秒激光与稀有气体之间的相互作用产生具有非线性响应的高次谐波，并发射 10-50 nm 波段的极紫外光。该光源有几个显着的特点。 ，体积小，成本低。整个系统可以在桌面上实现，比传统的 EUV 光源小得多。其次，相干性高，波长可调。光束相干性高，可覆盖多个波段，具有近乎连续的超宽带光谱输出。因此，工程可行性较大。无需复杂的 EUV 多层镜或金属靶材的污染控制，系统阀杆稳定，维护成本低。目前，ASML、英特尔、三星、台积电等国际公司已开始使用HHG技术进行测量和测试，以验证产业化潜力。美国国家标准与技术研究院（NIST）也将HHG定义为“宽带、超高速和相干三位一体的最佳路径”，国际半导体技术路线图IRDS 2024明确指出HHG是下一代EUV版的核心技术。换句话说，HHG不仅仅是“实验室中的美丽现象”；这是半导体测试、光刻和先进材料研究前进的唯一出路。从科学进步到工程实施：HHG的“范式革命” 高次谐波发生技术的原理可以追溯到20世纪90年代。通过电子电离、加速和复合的“三步模型”，激光脉冲能量被有效地传递转化为高频谐波光，最终产生极紫外辐射。这种机制的进步使人类首次能够在“阿秒”时间尺度（10-18秒）内观察电子的运动。近几十年来，HHG技术已经从“经典光源”转向“量子光源”。其转换效率已达到0.01%，应用范围从纳米结构的表征扩展到阿秒时间尺度和量子分辨率。这意味着我们不仅可以“看到”物质的结构，还可以“看到”电子的运动，这是人类测量史上的一个里程碑。目前，昊宇芯光的使命是将这种先进的科学技术转化为可用于工业的设备。我们希望我们的科研成果能够落地到实践中，成为可以直接用于工业C的高性能EUV光源。客户。在工业应用中，HHG表现出极大的灵活性和实用性。首先，对于掩模和薄膜检查，EUV 波长的光可以穿过薄膜掩模，从而可以准确识别可印刷的缺陷。目前全球口罩缺陷检测市场规模2024年约为128亿元人民币，预计2030年将达到238亿元人民币。其中中国市场占比约35%至40%，预计到2030年将超过87亿元人民币。在该领域，三星子公司ESOL已率先落地HHG技术，于2017年完成约5400万美元的B轮融资。 2020年、2025年，我司昊宇芯光与国内主要工业客户签署谅解备忘录（MOU），与行业领先的口罩设备制造商建立密切合作。其次，对于叠加测量，HHG源比传统电子束检测具有显着优势。在。电子束检测虽然精度较高，但扫描速度较慢，性能较低。 HHG-EUV光源检测基于检测时的光学成像原理，速度快、分辨率高，可实现高通量检测。 2023年重叠检测市场规模约为120亿美元，预计到2030年将达到15亿美元。第三，HHG在晶圆检测和EUV相干成像方面具有独特的优势。它的分辨率是DUV光源的10倍以上，可以识别小于5纳米的缺陷。检测速度比电子束快100至1000倍。光子能量可控，可非接触、无损检测。它支持 3D 成像，可用于检测 FinFET 结构和堆叠芯片的内部缺陷。此外，我们正在开发结合AI学习的智能算法，以提高检测的灵敏度和自动化程度。缺陷识别水平。科研市场：将大型科学仪器“带回实验室” 在科学研究应用领域，HHG 的重要性尤为广泛。目前，世界各地的同步辐射装置和自由电子激光装置都可以产生高亮度的EUV光，但都面临着两个问题：投资大、使用门槛高。科研团队往往要排队三到六个月，每次实验花费数十万元。昊宇芯光想要改变这一点。我们的愿景是使科研团队民主化。桌面 HHG 系统可在 3m x 1.5m 空间内实现连续光谱 EUV 输出。光谱覆盖从红外到X射线的范围，具有高亮度和多波长可调性。研究人员可以完成阿秒物理、超快光谱、全息光刻、量子成像、以及更多在他们自己的实验室中进行，无需依赖笨重的光源设备。这不仅可以降低科研成本，也可以让中国研究人员在更时间维度上开展创新实验。从种子采购到系统集成的全链条能力。我们提供完整的系统解决方案，从激光种子源和 HHG 模块到多功能光束线和图像检测系统。该产品具有高功率、超短脉冲、超宽带光谱输出的特点。输出光谱是单色且可调的。高空间相干性和极高的稳定性。模块化客户端适应不同的应用场景。它是被设计的。台式计算机仅比大型设备小 1/10,000 倍。目前，我们在国内首次成功研制出波长13.5纳米的微瓦级飞秒激光光源，并实现了14-纳米节点光刻工艺。从国际前沿到本土创新，昊宇芯光核心团队均具备世界一流水平。我们的首席科学家此前曾担任美国 KMLabs 极紫外激光技术负责人，带领团队开发并商业化了世界上第一个基于 HHG 的 EUV 飞秒激光器。该作品荣获两项国际最高荣誉：激光聚焦世界创新奖（光电行业的奥斯卡奖）和棱镜奖（光电行业的诺布奖）。现在，团队希望将十多年的国际经验带到中国，将国际前沿科技成果应用于中国的产业转型和技术自主。极紫外光源不仅仅是科学研究仪器；它们是完整的现代制造系统的基本工具。用于成像物体，从芯片制造到计量和检查从量子材料到生物技术，EUV 光源的功率决定了它能看到多深、能测量多少细节以及测量速度。过去，这一领域几乎被国外公司垄断。今天，我们正在逐步打破技术壁垒，将那些只有大型科学仪器才能实现的功能转变为可以在实验室使用并集成到生产线中的仪器。未来十年，全球制造业将从“光刻技术”转向“智能光学制造”。昊宇芯光希望通过自主的HHG技术，让中国在EUV光源和测试设备领域拥有真正的话语权。我们将继续推进科研与工业的融合，将复杂的科学原理转化为可复制的工程解决方案，为半导体工业、材料科学提供强大的光学基础设施nce、阿秒物理等领域。未来的合作将与专家和合作伙伴共同努力，将极紫外光源核心技术转化为推动中国先进制造业的“新引擎”。我想是的。谢谢大家！ 本文为观察者网独家报道。文章内容纯属作者个人观点，不代表平台意见。未经许可不得转载。如果抄袭，将承担法律责任。微信关注观察者网，每天阅读有趣的文章。
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